Třetí generace testerů P9000 pro logiku i paměti

Společnost Keysight v lednu představila v pořadí již třetí generaci svého systému řady P9000 sloužícího k souběžnému testování parametrů polovodičů při výzkumu a vývoji a také následné výrobě moderních logických obvodů nebo např. pamětí. Není se ostatně ani čemu divit, vždyť s novými strukturami součástek, a také jejich lepšími parametry, citelně poroste i požadované množství dat provázaných během testů s konkrétním uzlem (uvažujeme méně nebo rovno 20 nm).

Při svém uvedení na trh umožňoval systém P9000 provádět 100vývodová paralelní měření většího počtu prvků na křemíkovém waferu a využívat přitom speciálního modulu, který zde zajistil veškeré typické funkce, spojené např. s napětím, proudy, kapacitou, pulzy a také kmitočtem. S rychlým souběžným měřením kapacity na zmiňovaném počtu pinů se zde pojila, a stále pojí, technologie DCM (Direct Charge Measurement). Druhá generace P9000 pak byla ve znamení svižného měření prahových napětí Vt s rychlostmi, které tradiční testovací metody převyšovaly více než čtyřnásobně.

A stagnující rychlosti nepůjdou dohromady ani s třetí generací P9000 a jejími novými moduly. Testery měří (parazitní) kapacity ještě rychleji a množství zkoušek tak poplatně vícevrstvým technologiím a novým strukturám obvodů může už jen dále růst. Proudy a napětí systém rozliší již od 1 fA, resp. 2 mikrovoltů.

(robenek) @dps-az.cz